Nakon što se zamršeni obrasci kola ugraviraju u silikonsku pločicu, zaštitna fotootporna maska-sloj čvrstog,-poprečno povezanog polimera-mora biti potpuno i čisto skinuta. Ovo se postiže u vrućoj kupki snažnih, agresivnih organskih rastvarača, često zagrejanih na preko sto stepeni Celzijusa. Potopni grijač unutar ove isparljive, korozivne hemije mora biti napravljen od materijala koji rastvarači ne mogu rastvoriti, nabubriti ili kontaminirati. PTFE je taj hemijski nemi, inertni materijal.

Uloga PTFE grijača u uklanjanju fotootpornosti

Kupka za skidanje obično se sastoji od mješavine rastvarača kao što je N-Metil-2-pirolidon (NMP), dimetil sulfoksid (DMSO) i jakih alkalnih amina, zagrijanih na 80-110 stepeni. PTFE potopni grijač je standardni izbor za ovu primjenu. Njegov hemijski inertan omotač je u potpunosti otporan na agresivne rastvarače, koji bi inače napali standardnu ​​plastiku i korodirali metale.

PTFE grijač pruža čistu, stabilnu i preciznu toplinu bez otpuštanja metalnih jona ili drugih zagađivača koji bi se mogli taložiti na netaknutu površinu pločice. Ne-glatka PTFE površina otporna je na nakupljanje otopljenog fotootpornog ostatka, održavajući savršeno čistu površinu grijanja tokom ponovljenih ciklusa. Proces odstranjivanja vafla fotootpornog grijača PTFE osigurava ujednačenu distribuciju temperature i minimizira lokalizirano ključanje ili udarce koje bi mogle poremetiti osjetljive oblatne.

"PTFE grijač je kemijski tihi, vrući prst u kadi sa snažnim rastvaračima, koji skida masku bez ostavljanja ijednog traga o sebi, dok održava oblatu netaknutom i električno besprijekornom."

Safety Considerations

Smjesa rastvarača je zapaljiva, toksična i često radi blizu svoje tačke ključanja. Odgovarajući dizajn rezervoara, uključujući zatvorena kućišta, uzemljenje i ventilaciju, obavezan je kako bi se spriječila opasnost od požara, izlaganja pari ili elektrostatike. Potrebne su konzervativne gustoće u vatima kako bi se održalo kontrolirano grijanje i izbjeglo nabijanje otapala ili lokalizirano pregrijavanje na PTFE omotaču.

Operativne prednosti

Upotreba PTFE grijača u ovom procesu omogućava:

Hemijska otpornost na agresivne mješavine rastvarača.

Održavanje apsolutne čistoće vafla i električnog integriteta.

Dugoročna{0}}pouzdanost bez korozije ili degradacije.

Ravnomjerno,-zagrijavanje bez ostataka kritično za-proizvodnju poluprovodnika visokog prinosa.

Zaključak

PTFE imerzioni grejač je kritičan, hemijski imun izvor toplote koji omogućava čisto, potpuno uklanjanje fotorezista sa pločica u proizvodnji poluprovodnika. Pružajući stabilnu toplinu-bez zagađivača u visoko agresivnoj kupki rastvarača, PTFE grijač osigurava atomsku čistoću koja je neophodna za modernu mikroelektroniku. Savršena, besprijekorna površina kompjuterskog čipa postiže se kombinacijom kemijske agresije i inertnog, pouzdanog grijanja.