Minijarizacija i čip tehnologija senzora

Mikro-elektromehanički sistem (MEMS) je mikro-sistem ili uređaj koji integrira mikro-mehanizme, mikro-senzore, mikro-aktuatore, upravljačke krugove, obradu signala, komunikaciju, sučelja, napajanja itd. To je tehnologija za dizajn, preradu, proizvodnju, mjerenje i kontrolu mikro / nano materijala.

MEMS tehnologija uključuje: silikonska tehnologija mikrovališta, duboko reaktivne ionske eting, liga tehnologija, tehnologija molekularne montaže, rasuti mikromaći, površinski mikromachining, laserska mikromachina i mikro-pakiranje tehnologija.

Silikonska tehnologija mikromachina je glavna tehnologija MEMS-a. To je precizna trodimenzionalna tehnologija prerade. To je tehnologija za razvoj senzora, mikro-aktuatora, mikro-aktuatora i mikro-mehaničkih sistema. Uspješno se koristi za proizvodnju različitih mikro senzora i višefunkcionalnih osjetljivih nizova elemenata. Kao što su mikro-silicijski senzori, mikro-silicijumski senzori mase, dinamički senzori i mikro-senzori za zrakoplovske, automobilskim pritiskom i senzorima ubrzanja, zaštita okoliša mikrohemijskim senzorima itd.

Tehnologija integracije senzora i višeslojni kompoziti parametra

Integracija se odnosi na integraciju više funkcija osjetljivosti s obradom podataka, skladištenjem, dvosmjernom komunikacijom itd. Kao što su pritisak, statički pritisak, temperatura trostruki senzor od tri varijacije; Pritisak zraka, snaga vjetra, temperatura, vlažnost četverostruki senzor; Micro silicijum kompozitni senzor pritiska i senzora niza itd., Sve upotrebljavaju integracijsku tehnologiju. Proces integracije i višestruki kompozitni senzor Mikrostruktura integrirani proizvodni proces, poput pritiska, statički pritisak, temperatura trostruki senzor, tlaka zraka, temperatura, temperatura, vinja sa četverostrukim senzorom pritiska, senzor pritiska na mikro silicijum.

Postoje dvije vrste integracije senzora: Jedno je izgraditi više senzornih modula na čipu kroz mikro-obradničku tehnologiju kako bi se formirao linearni senzor (kao što su CCD senzor slike); Drugi je napraviti osjetljive komponente s različitim funkcijama na istom silikonskom čipu kako bi se integrirani multifunkcionalni senzor napravio visokom integracijom, malom veličinom i jednostavnom kompenzacijom i korekciji.