Mašina za vakuumsko oblaganje koristi visokofrekventno napajanje, a u petlju se dodaje jak kondenzator.
Ostavi poruku
Mašina za vakuumsko oblaganje koristi visokofrekventno napajanje, a u petlju se dodaje jak kondenzator.
Da bi se riješio ovaj problem, izumljeno je magnetronsko reaktivno raspršivanje. To jest, korištenjem metalne mete, dodavanjem argona i reaktivnog plina kao što je dušik ili kisik. Kada metalna meta udari u dio, kombinuje se s reaktivnim plinom i formira nitride ili okside zbog konverzije energije.
Lako je prskati metale i legure sa magnetronskim ciljnim izvorima, a paljenje i raspršivanje su zgodni. To je zato što meta (katoda), plazma i vakuumska komora raspršenog dijela mogu formirati strujni krug. Ali ako prskaju izolatori kao što je keramika, strujni krug je prekinut. Dakle, ljudi koriste visokofrekventno napajanje i dodaju jak kondenzator u petlju. Na taj način, ciljni materijal postaje kondenzator u izolacijskom kolu.
Kako bi se povećala stopa iskorištenja ciljanog materijala, mašina za vakuumsko oblaganje može koristiti rotirajuće magnetsko polje
Interakcija između magnetnog polja i elektrona se koristi da bi se elektroni pokrenuli u spiralnom obliku u blizini površine mete, čime se povećava vjerovatnoća da će elektroni pogoditi plin argon kako bi generirali ione. Generisani ioni udaraju u površinu mete pod dejstvom električnog polja da bi izbacili metu. U razvoju posljednjih decenija, trajni magneti su postepeno usvajani, a magneti zavojnice se rijetko koriste. Bez obzira na balans ili neuravnoteženost, ako je magnet nepomičan, njegove karakteristike magnetnog polja određuju da je opća stopa iskorištenja cilja manja od 30 posto. Da bi se povećala stopa iskorištenja ciljnog materijala, može se koristiti rotirajuće magnetsko polje. Ali rotacija magnetnog polja zahtijeva rotirajući mehanizam, a u isto vrijeme se smanjuje brzina raspršivanja.
www.superbheater.com
