Električna peć u cevi Pecvd koja se koristi u fotonaponskoj industriji

1, Funkcija jezgre: efikasno taloženje tankih filmova visokih performansi
Tubularna peć za pecv (Poboljšana kemijsko-pare trošak) je često korištena oprema u proizvodnji fotonaponskih ćelija . Films za reflektor silicijuma na površini kristalnih silikonskih solarnih ćelija kroz kemijsku tehnologiju pare "{1}} ovaj film povećava performanse baterije kroz sljedeće mehanizme:
Podešavanjem debljine i refrakcijskog indeksa SINX-a tankog filma, koristeći princip smetnji svetlosnog veslanja kako bi se smanjila površinska refleksija, više svjetla ulazi u unutrašnjost baterije, a fotoelektrična efikasnost pretvorbe poboljšana je za 1%-2%.
Površinska pasivizacija: hidrogen u SINX-u može pasivati rešetke (poput dislokacija i visećih obveznica) na silikonskoj površini, smanjite rekombinaciju nosača i povećajte napon otvorenog kruga i struje kratkog spoja .
Mehanička zaštita: Film služi kao sloj kapsulacije kako bi se spriječilo zagađenje ili mehanička oštećenja silikonskog vafla tokom narednih procesa .

2, Tehničke prednosti: Niska temperatura, visoka efikasnost, precizna kontrola
Proces sedimentacije niskog temperature
PECVD tehnologija koristi plazma za uzbudljive reaktivne gasove, smanjujući temperaturu taloženja na 400-500 stepen (tradicionalni CVD zahtijeva iznad 800 stepeni), izbjegavajući termički materijal na visokim temperaturama, posebno pogodnim za proizvodnju tankih i fleksibilnih baterija .
Visoka stopa i ujednačenost sedimentacije
Radio frekvencija Glow tehnologija: generiranjem plazme visoke gustoće kroz električna polja visoke frekvencije (kao što je 13 . 56MHz), brzina reakcije uvelike je poboljšana, a stopa taloženja može doći 10-50 Nm / min.
Uniformnost: Usvajanje RF hranjenja, ujednačene distribucije plinske staze i inteligentni sistem kontrole temperature kako bi se osigurala uniformnost debljine filma manjeg ili jednaka ± 5%, ispunjavajući potrebe proizvodnje velikih razmjera .
Raznolikost materijala
Može položiti različite dielektrične filmove poput sio ₂, si α n ₄, al ₂ o α, itd. ., širenje dizajnerskog prostora struktura akumulatora (kao što su složene baterije i leđa pasivene baterije) .
Zaštita okoliša i očuvanje energije
Tehnologija niske temperature smanjuje potrošnju energije uz izbjegavanje emisije štetnih tvari na visokim temperaturama, što je u skladu s trendom zelene proizvodnje u fotonaponskoj industriji .

3, struktura opreme i ključni parametri
tipična konfiguracija
Sustav grijanja: Jednostrana zona ili više temperaturnih zona Peć za otpornost, s maksimalnom temperaturom od 1200 stupnjeva i tačnosti temperature od ± 1 stupnjeva.
Vakuumski sistem: kombinacija molekularne pumpe i mehaničke pumpe, s maksimalnim vakuumskim stupnjem manjim ili jednakim 10 ⁻ PA, ispunjavanje zahtjeva tankog tanki filma visoke čistoće.
RF napajanje: podržava preciznu kontrolu gustoće plazme .
Plinski sustav: multikanalni mjerač masenog protoka (MFC), koji podržava 1-6 plinske mješavine .
kontrola procesa
Programiranje krivulje temperature: podržava programe porasta temperature i jesenja više od 30 segmenata, a prilagođavajući se procesnim zahtjevima različitih filmskih materijala.
Kontrola pritiska: pozitivan dojam tlaka -100 KPA do 100kPA, koji podržava nisko pritisak do atmosferskog preklopnog pritiska .
Inteligentno nadgledanje: opremljeno funkcijama kao što su alarm pregrijavanja, zaštite od prekomjerne struje i prekida za isključivanje da se osigura stabilni rad opreme .

4, scenariji aplikacija i trendovi na tržištu
Primjene glavnih tokova
Perc ćelija: deponiranjem leđa Al ₂ o α / sinx laminiranog filma, dvostruke funkcije stražnje strane i protiv refleksije su postignute .
TopCon baterija: iskorištavanje taloženja pogrešnog oksida (SIO ₂) i dopirani polikristalni silikonski sloj za izgradnju efikasnih transportnih kanala za prijevoz prevoza .
HJT baterija: taloženje unutarnjeg amorfnog silikona (IA-SI: H) na sučelju amorfnog silikona / kristalnog silikonskog heterojorkcije radi optimizacije gustoće stanja od sučelja.