Tehnologija katodnog luka za vakuumsko nanošenje za izuzetno visoke stope taloženja

Tehnologija katodnog luka za vakuumsko nanošenje za izuzetno visoke stope taloženja

Tehnologija katodnog luka mašine za vakuumsko premazivanje je tehnologija koja koristi lučno pražnjenje u vakuumskom okruženju da ispari i ionizira čvrstu katodnu metu, a zatim odleti na površinu anodnog supstrata kako bi nanio film kroz učinak jačanja plazme. . Zbog toga tehnologija katodnog luka ima izuzetno visoke stope taloženja.

Nanosi se na površinu podloge u vakuumskom okruženju koje sadrži inertni ili reaktivni gas. Jonski snop s visokom energijom je vrlo koristan za poboljšanje sile vezivanja filmske supstrate i narušavanje stupaste kristalne strukture filma, što također može uvelike poboljšati organizaciju filma. Strukturna i mehanička svojstva. Trenutno su različiti proizvođači tankoslojne opreme usvojili različite mjere za smanjenje stvaranja "kapljica" kroz istraživanje principa i procesa formiranja filma.

Među njima, BAI1200 i RCS usvajaju tehnologiju izvora katode kružne ravni i tehnologiju radijacijskog grijanja, koja može izvršiti brzu proizvodnju premaza. TiAlN pripremljen ovim postupkom može poboljšati stabilnost rezne ivice alata za obradu i omogućiti suvo rezanje.

Mašina za vakumsko premazivanje ostvaruje ujednačeno miješanje reagensa dugo vremena i stabilnu koncentraciju

U samom procesu primjene, u cilju proučavanja i poboljšanja uređaja za detekciju, s obzirom na to da temperatura utiče na adsorpciju i apsorpciju filterskog materijala, uređaj će biti smješten u klimatiziranoj prostoriji. Vlaga utječe na apsorpciju vlage filter materijala s jedne strane, te utječe na učinak apsorpcije reagensa, što zahtijeva strogu kontrolu. Određuje se prema mjernoj cijevi katalizatora i specifičnoj brzini. Brzina protoka je obrnuto proporcionalna vremenu dinamičke zaštite, a koncentracija reagensa je također obrnuto proporcionalna vremenu dinamičke zaštite. Fluktuacija će takođe uticati na određivanje krajnje tačke.

Kako bi se ispunili zahtjevi, s vremena na vrijeme će se vršiti razna poboljšanja. Glavni aspekt je da se senzor temperature i vlažnosti E plus E29 koristi za zamjenu higrometra s mokrim i suhim termometrom. Tehnologija mlazne pumpe ostvaruje jednoliko miješanje reagensa dugo vremena i koncentracija je stabilna pod nižim pritiskom reagensa.

www.superbheater.com