Tolerancije procesa vakuumskog premaza

Vremenska varijacija vakuumskog premaza:

Uobičajeno je da se uslovi taloženja u vakuumskoj komori menjaju tokom vremena. Tokom rada, karakteristike izvora isparavanja će se mijenjati kako se film troši, posebno ako dizajn uključuje više slojeva premaza, a toplinski gradijent vakuumske komore će se također povećati ako proces traje nekoliko sati. Istovremeno, kada se unutrašnji zid vakuumske komore taloži i zaprlja, efikasnost rada različitih krugova postepeno varira. Iako su ovi faktori postepeni i mogu se nadoknaditi, ipak ih treba smatrati dijelom tolerancije sistema.

Prijenos vlage: Filmovi su općenito porozni, čineći njihova svojstva inferiornijim u odnosu na rasute materijale u mnogim aspektima. Jedan je da se u vlažnim uslovima mikroskopski prostori filma pune vodenom parom i suše kada se relativna vlažnost smanji. Prisustvo ili odsustvo vlage se mijenja

Tolerancije procesa vakuumskog premaza

Preciznost svake debljine filma u dizajnu ograničena je preciznošću samog kontrolnog instrumenta. Generalno, kontrolni instrument o kojem govorimo je mikrovaga sa kristalima kvarca (QCM) ili optički monitor, ili oboje. Kvarc kristalne mikrovage su precizne oko 2 posto, dok dobro dizajniran optički monitor može biti precizan do nekoliko hiljada. 54=, Z.

Neujednačenost debljine filma: Bez obzira kakva je tačnost monitora, on može kontrolirati debljinu filma samo u jednoj tački u vakuumskoj komori, općenito u srednjoj poziciji držača obratka. Ako debljina filma na ovoj lokaciji nije apsolutno ujednačena, tada podloge udaljene od centra neće dobiti ujednačenu debljinu. Iako štit može eliminirati neujednačenost koja se manifestira dugoročno, neke varijacije u debljini filma uzrokovane su nestabilnošću izvora isparavanja ili različitim performansama filmskog materijala, tako da ga je gotovo nemoguće eliminirati, ali struktura vakuum komore je veoma važna. Ovi efekti se mogu minimizirati pravilnim odabirom izvora isparavanja.

www.superbheater.com