Oprema za vakuumsku galvanizaciju Optička svojstva tankih filmova

Oprema za vakuumsku galvanizaciju Optička svojstva tankih filmova

Optička svojstva tankih filmova, kao što su indeks loma, apsorpcija i prag oštećenja lasera, uglavnom ovise o mikrostrukturi sloja filma. Materijal filma, pritisak zaostalog gasa i temperatura podloge mogu uticati na mikrostrukturu filma. Ako evaporativno taloženi atomi imaju malu pokretljivost na površini supstrata, film će sadržavati mikropore. Kada je film izložen vlažnom vazduhu, ove pore se postepeno pune vodenom parom.

Oprema za vakuumiranje podiže temperaturu podloge

Konvencionalni procesi nanošenja premaza zahtijevaju povišene temperature podloge (obično oko 300 stepeni); naprednije tehnike, kao što je taloženje pomoću jona (IAD), mogu se izvesti na sobnoj temperaturi. IAD proces ne samo da proizvodi filmove s boljim fizičkim svojstvima od konvencionalnih procesa nanošenja premaza, već se može primijeniti i na podloge od plastike. Tradicionalna metoda taloženja tankog filma bila je termička evaporacija, bilo sa otporno zagrijanim izvorima isparavanja ili izvorima isparavanja elektronskim snopom. Svojstva filma uglavnom su određena energijom deponovanih atoma, koji su kod konvencionalnog isparavanja samo oko 0,1 eV. IAD taloženje rezultira direktnim taloženjem jonizovane pare i dodaje energiju aktivacije rastućem filmu, obično reda veličine 50 eV. Izvor jona poboljšava svojstva filma konvencionalnog isparavanja snopa elektrona usmjeravajući zrak iz jonskog pištolja na površinu supstrata i rastući film.

Vlaga koju apsorbira film zamjenjuje pore i šupljine, uzrokujući povećanje indeksa prelamanja filma. Budući da fizička debljina filma ostaje konstantna, ovo povećanje indeksa prelamanja je praćeno odgovarajućim povećanjem optičke debljine, što zauzvrat uzrokuje pomak spektralnih svojstava filma prema dužim valnim duljinama. Da bi se smanjio ovaj spektralni pomak uzrokovan volumenom i brojem mikropora unutar sloja filma, energetski ioni se koriste da prenesu svoj zamah na atome materijala koji isparavaju, čime se značajno povećava mobilnost atoma materijala tokom kondenzacije na površini supstrata.

www.superbheater.com