Vakuumski formirači zahtijevaju izvor isparavanja ili cilj isparavanja

Vakuumski formirači zahtijevaju izvor isparavanja ili cilj isparavanja

Različite tehnike premazivanja zahtijevaju izvor isparavanja ili metu za pretvaranje isparenih vrsta koje stvaraju film u plin. Sa sve većim izvorima ili ciljevima, izbor filmskog materijala znatno se proširuje. Bilo da se radi o metalu, leguri, spoju, keramici ili organskoj materiji, različiti metalni filmovi i dielektrični filmovi mogu se taložiti parom, a različiti materijali se mogu istovremeno taložiti parom da bi se dobili višeslojni filmovi.

Mašina za vakuumsko oblikovanje neuravnotežena tehnologija magnetronskog raspršivanja

Zbog toga se mašina za oblaganje magnetronom može prazniti pod nižim radnim pritiskom i naponom, a ciljna stopa iskorištenja je relativno visoka. Međutim, područje supstrata je manje bombardirano ionima jer se elektroni kreću duž linija magnetskog polja i uglavnom su ograničeni na površinu mete. Koncept tehnologije neuravnoteženog magnetronskog raspršivanja znači da je magnetni tok vanjskog magnetnog pola magnetronske katode veći od fluksa unutrašnjeg magnetnog pola, odnosno da linije magnetskog polja dva magnetna pola neće biti potpuno zatvorene na površini mete, a postoji određeni udio linija magnetnog polja. Protezat će se duž rubnog dijela mete do područja supstrata, tako da se dio elektrona može proširiti do supstrata duž linija magnetskog polja, čime se povećava gustina plazme i brzina jonizacije gasa u području supstrata. Bez obzira na neuravnoteženu ravnotežu, ako je magnet nepomičan, njegove karakteristike magnetnog polja određuju opću ciljnu stopu iskorištenja manju od 30 posto. Rotirajuće magnetno polje se može koristiti za poboljšanje iskorišćenja cilja. Ako rotirajuće magnetno polje zahtijeva rotirajući mehanizam, tada je brzina raspršivanja smanjena. Rotirajuća magnetna polja se uglavnom koriste za velike ili vrijedne mete. Na primjer, raspršivanje tankih poluvodičkih filmova. Za malu opremu i opću industrijsku opremu, statički ciljni izvor magnetskog polja se široko koristi.

www.superbheater.com