Ploča za podešavanje za mašinu za vakumiranje

Ploča za podešavanje za mašinu za vakumiranje

Prema teoriji raspodjele debljine filma, ujednačenost debljine filma između supstrata može se poboljšati dodavanjem ploča za podešavanje u komori za isparavanje, kako bi se poboljšao prinos i zadovoljili zahtjevi masovne proizvodnje.

U procesu projektovanja ploče za podešavanje, kutna greška isparavanja materijala se zanemaruje, a debljina filma T je vezana samo za ugao isparavanja θ. Dodavanjem ploča za podešavanje može se promijeniti razlika u distribuciji filma uzrokovana različitim uglovima isparavanja. Finalizacija ploče za podešavanje se ispravlja i finalizira stvarnim proizvodnim podacima.

Otklanjanje kvarova na mašini za vakumiranje

Kada oprema za vakuumsko oblaganje radi normalno, cijev prekidača u krugu glavnog prekidača je u zasićenom provodljivom stanju, pad napona cijevi se održava na oko 100V, mreža postaje pozitivni prednapon od 50V, a visoki napon označava 6kV (ili 10kV). Signal kontrole napona dobijen iz kruga detekcije R21 nije dovoljan da se cijev regulatora napona D13 pokvari i provede, BG14, BG15, BG16 su u isključenom stanju, dok su BG11, BG12, BG13 u uključenom stanju, a BG11 daje 2.5V ili tako visok potencijal. BG10 na komutacionom krugu napona kapije dobija signal kontrole napona od 2,5V i nalazi se u provodljivom stanju, tako da osnovni potencijal BG9 postaje 0 potencijala i isključuje se, a cijev glavnog prekidača dobija prednapon napon od 50V kroz D6 i D7. U isto vrijeme, BG7 i BG8 su također u stanju provodljivosti, a cijev regulatora napona D8 se kvari i provodi, obezbjeđujući konstantnu struju do kapije cijevi glavnog prekidača. Budući da je BG10 u provodljivom stanju, baza BG4 upravljačkog kruga zavjesne mreže je na 0 potencijalu i isključena je, a veličina napona mreže zavjese kontrolira se signalom visokonaponskog razdjelnika UR2. Kada je UR2

www.superbheater.com