Električno grijaće cijevi triodnog prskanja

Električno grijaće cijevi triodnog prskanja

Tripolarno raspršivanje je dodavanje elektrode - vruće katode - uređaju za bipolarno raspršivanje, koji emituje vruće elektrone. Pod privlačenjem električnog polja, vrući elektroni prolaze kroz područje plazme između mete i osnovne elektrode, pojačavajući pražnjenje vrućih elektrona. Ne samo da može poboljšati brzinu raspršivanja, već i učiniti kontrolu uslova raspršivanja praktičnijom. Gustoća struje se povećava na 1-3mA/cm2, a ciljni napon pada na 1-2kV. Negativni prednapon vruće katode od 0-50v. Na ovaj način se povećava brzina raspršivanja, a poboljšava se kvalitet premaza zbog povećanog vakuuma taloženja.

Kvadrupolno raspršivanje

Na osnovu triodnog raspršivanja, izvan prostorije za premazivanje dodaje se dodatna zavojnica, poznata i kao pomoćna anoda ili stabilna elektroda. Funkcija zavojnice za grupisanje je da skuplja elektrone između ciljne katode i anode supstrata, formirajući između njih niskonaponski i visokostrujni stub plazma luka. Veliki broj elektrona sudara se s plinom i ionizira, stvarajući veliki broj jona. Spiralno kretanje elektrona povećava rastojanje na koje dolaze do kolektora elektrona, čime se povećava vjerovatnoća ionizacije sudara, sa gustinom struje od 2-5mA/cm2. Osim toga, zavojnica za grupisanje također igra ulogu u stabilizaciji pražnjenja.

Ova metoda raspršivanja još uvijek ne može suzbiti bombardiranje supstrata brzim elektronima koje generira meta, a postoje i problemi poput onečišćenja sloja filma zbog nečistoća u filamentu.

RF raspršivanje

Šezdesetih godina prošlog stoljeća radiofrekventno usijano pražnjenje korišteno je za proizvodnju tankih filmova bilo kojeg materijala od vodiča do izolatora, što je bila široko korištena metoda raspršivanja. Radio frekvencija se odnosi na frekvenciju unutar opsega prijenosa radio valova. RF raspršivanje je proces povezivanja visokofrekventnog napajanja na ciljnu katodu. Kako bi se izbjegle smetnje u radu radio stanice, namjenska frekvencija za raspršivanje je postavljena na 13,56MHz. Pod dejstvom visokofrekventnih impulsa, elektroni su napravljeni da putuju na veće udaljenosti

Kretanje razdvajanja uzrokuje više sudara s atomima plina. Na ovaj način se gas može potpunije jonizirati, čime se poboljšava efekat prskanja. Pod djelovanjem naizmjeničnog električnog polja iz izvora radio frekvencije, elektroni u plinu osciliraju i ioniziraju plin u plazmu. Nedostatak RF raspršivanja je to što RF izvori napajanja velike snage nisu samo skupi, već predstavljaju i problem za ličnu zaštitu. Stoga, RF raspršivanje nije prikladno za primjene u industrijskoj proizvodnji.

www.superbheater.com