Elektrotermalna obloga cijevi Magnetronsko raspršivanje

Elektrotermalna obloga cijevi Magnetronsko raspršivanje

Magnetronsko raspršivanje je nova vrsta tehnologije raspršivanja koja se brzo razvila 1970-ih. Karakterizira ga uspostavljanje prstenaste magnetne mete na površini katode za kontrolu kretanja sekundarnih elektrona. Pod dejstvom elektromagnetnog polja, sekundarni elektroni generisani jonskim bombardovanjem na površini mete su komprimovani blizu površine mete za kretanje ciklotrona, produžavajući udaljenost do anode, značajno poboljšavajući verovatnoću sudara sa atomima gasa, i na taj način poboljšavajući brzinu raspršivanja . Magnetronsko raspršivanje se trenutno primjenjuje u industrijskoj proizvodnji. To je zato što je brzina nanošenja premaza kod Magnetron raspršivanja reda veličine veća od one kod bipolarnog raspršivanja, a ima prednosti visoke stope taloženja, niskog porasta temperature podloge i malog oštećenja filma. Godine 1974. Chapin je izumio planarnu Magnetron metu za raspršivanje pogodnu za industrijsku primjenu, što je promoviralo ulazak u polje proizvodnje.

reaktivno raspršivanje

U metodi raspršivanja, ako se od mete napravi jedinjenje za proizvodnju složenog filma, sastav proizvedenog filma općenito značajno odstupa od sastava ciljnog spoja. U ovom trenutku, aktivno miješanje aktivnog plina u plin za pražnjenje može kontrolirati sastav i svojstva rezultirajućeg tankog filma, što se naziva metodom reaktivnog raspršivanja. Uglavnom se koristi za proizvodnju izolacijskih složenih filmova, a može se postići korištenjem dvije metode raspršivanja: bipolarnog DC i RF. Njegov stvarni uređaj se ne razlikuje mnogo od bipolarnog raspršivanja i RF raspršivanja, osim što postavlja dva ulazna otvora za gas i zagrijava podlogu na 500C u svrhu miješanja plinova. Raspršivanje je najlakša metoda za kontrolu sastava legure u tehnologiji fizičkog taloženja parom. Film od legure se može nanijeti višeciljnim kosputerom, i sve dok se kontrolišu parametri raspršivanja svake mete, može se dobiti određeni sastav filma legure. Film od legure se također može direktno prskati pomoću mete od legure bez ikakvih mjera kontrole, a može se dobiti i film od legure potpuno istog sastava kao i ciljni materijal. Iako različite komponente legure imaju značajno različite koeficijente raspršivanja, tokom procesa raspršivanja, nakon određenog vremenskog perioda, komponenta sa najvećom brzinom raspršivanja daje prednost raspršivanju, a površina ciljnog materijala će biti obogaćena drugim komponentama do stabilnog stanja. postiže se površinski sastav. Konačna dobijena kompozicija filma će biti ista kao i ciljni materijal.

www.superbheater.com