Princip rada vakuumske mašine za galvanizaciju mašine za jonsko oblaganje

Princip rada vakuumske mašine za galvanizaciju mašine za jonsko oblaganje

Kontinuirano istraživanje i razvoj tehnologije kontinuirano je unapređivao nivo proizvodnog procesa u industriji. U poređenju sa teško izlečivim bolestima u prošlosti, one su postepeno rešavane tokom vremena. Istovremeno, sve više proizvoda se razvija i rađa na osnovu naučnog i tehnološkog napretka kako se potrebe ljudi povećavaju. A danas ćemo govoriti o mašini za jonsko oblaganje.

Princip mašine za jonsko oblaganje je zapravo da koristi gasno pražnjenje ili delimičnu ionizaciju isparenog materijala u vakuumskoj komori, i da deponuje ispareni materijal ili reaktant na podlogu dok se joni gasa ili čestice isparenog materijala bombarduju. Ionsko polaganje organski kombinuje fenomen sjajnog pražnjenja, tehnologiju plazme i vakuumsko isparavanje, što ne samo da značajno poboljšava kvalitet filma, već i proširuje opseg primjene tankih filmova. Njegove prednosti su jaka adhezija filma, dobra difrakcija i širok raspon filmskih materijala. DM je prvi put predložio princip ionskog oblaganja. Proces rada je sljedeći: prvo pumpajte vakuumsku komoru do stepena vakuuma iznad 4×10(-3) Pa, zatim uključite visokonaponsko napajanje i uspostavite plinsko pražnjenje niskog pritiska između isparavanja izvor i supstrat. plazma niske temperature. Elektroda supstrata je povezana sa 5KV DC negativnim visokim naponom kako bi formirala katodu užarenog pražnjenja. Joni inertnog plina koji nastaju u području užarenog pražnjenja ulaze u tamno područje katode i ubrzavaju se električnim poljem i bombardiraju površinu podloge kako bi je očistili. Zatim ulazi u proces oblaganja, zagrijavanjem kako bi se materijal za oblaganje ispario, a atomi ulaze u područje plazme, sudaraju se s ionima i elektronima inertnog plina, a mali dio se ionizira. Jonizirani ioni i plinski ioni bombardiraju površinu premaza s većom energijom, što rezultira poboljšanim kvalitetom filma.

www.superbheater.com